挪威科學(xué)技術(shù)院院士在IFWS 2019上介紹石墨烯襯底

來(lái)源：普鑫瀏覽：- 發(fā)布日期：2020-05-18 09:59:44【大中小】

11月25－27日，由深圳市龍華區(qū)科技創(chuàng)新局特別支持，國(guó)家半導(dǎo )體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟（CSA）、第三代半導(dǎo )體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰略聯(lián)盟（CASA）主辦，深圳第三代半導(dǎo )體研究院與北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司共同承辦的第十六屆中國(guó)國(guó)際半導(dǎo )體照明論壇（SSLCHINA 2019）暨2019國(guó)際第三代半導(dǎo )體論壇（IFWS 2019）在深圳會(huì)展中心召開(kāi)。

11月27日上午，“固態(tài)紫外器件技術(shù)”分會(huì)如期召開(kāi)。本屆分會(huì)山西中科潞安紫外光電科技有限公司、中微半導(dǎo )體設(shè)備（上海）股份有限公司協(xié)辦。

第三代半導(dǎo )體材料在紫外器件中具備其他半導(dǎo )體材料難以比擬的優(yōu)勢(shì)，展現(xiàn)出巨大的應(yīng)用潛力。分會(huì)重點(diǎn)關(guān)注以氮化鋁鎵、氮化鎵為代表的紫外發(fā)光材料，以碳化矽、氮化鎵為代表的紫外探測(cè)材料，高效量子結(jié)構(gòu )設(shè)計(jì)及外延，以及發(fā)光二極體、雷射器、光電探測(cè)器等核心器件的關(guān)鍵製備技術(shù)。

挪威科學(xué)技術(shù)大學(xué)教授、挪威科學(xué)技術(shù)院院士Helge WEMAN，南京大學(xué)教授陸海，臺(tái)灣交通大學(xué)特聘教授郭浩中，中微半導(dǎo )體設(shè)備（上海）股份有限公司主任工藝工程師胡建正，上海大學(xué)教授、Ultratrend Technologies Inc總裁吳亮，河北工業(yè)大學(xué)教授張紫輝，中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo )體研究所倪茹雪，鄭州大學(xué)Muhammad Nawaz SHARIF，廈門(mén)大學(xué)高娜，南京大學(xué)王致遠(yuǎn)等國(guó)際知名與專(zhuān)家參加本次會(huì)議，力圖呈現(xiàn)紫外發(fā)光和探測(cè)領(lǐng)域在材料、器件、封裝及應(yīng)用等各層面的國(guó)內(nèi)外最新進(jìn)展。廈門(mén)大學(xué)教授康俊勇、中科院半導(dǎo )體所研究員、半導(dǎo )體照明研發(fā)中心主任王軍喜共同主持了本次分會(huì)。

目前AlGaN材料的深紫外LED主要用於消毒殺菌。會(huì)上，挪威科學(xué)技術(shù)大學(xué)教授，挪威科學(xué)技術(shù)院院士Helge WEMAN帶來(lái)了題為“採用石墨烯襯底和透明底部電極的AlGaN納米線(xiàn )外延 UV LED”的主題報(bào)告，介紹了石墨烯襯底AlGaN納米線(xiàn )外延生長(zhǎng)技術(shù)。

2005年以來(lái)，Helge WEMAN教授在NTNU領(lǐng)導(dǎo )著一個(gè)科研小組研究用於光電應(yīng)用程式的iii－v族半導(dǎo )體納米線(xiàn )和石墨烯。2012年六月，他參與創(chuàng)辦了Crayonano AS公司並任首席技術(shù)官兼董事。

他表示，石墨烯襯底AlGaN納米線(xiàn )外延生長(zhǎng)技術(shù)比現(xiàn)有的薄膜技術(shù)更有優(yōu)勢(shì)。由於現(xiàn)階段深紫外LED缺乏足夠好的透明電極、高位錯密度、大部分採用比較貴的AlN襯底和AlN緩衝層等原因，因此價(jià)格都很高，而且發(fā)光效率低。首個(gè)用於論證的採用倒裝結(jié)構(gòu )的UV LED已經(jīng)完成，其採用的是雙層石墨結(jié)構(gòu )，其GaN／AlGaN的納米線(xiàn )採用MBE的技術(shù)進(jìn)行生長(zhǎng)，這種納米線(xiàn )具有很高的晶體質(zhì)量，並沒有很明顯的缺陷和應(yīng)力問(wèn)題。目前其研究檢測(cè)的結(jié)果顯示這種LED的發(fā)射波峰在365nm並沒有相關(guān)的缺陷黃光。